第290章 光刻机完工
诗和远方提示您:看后求收藏(
http://m.xkxs.org)
『如果章节错误,点此举报』第(2/3)页
紫外光源必须足够稳定,波长要精确控制在365纳米附近..."
林舟将自制的汞灯光源安装上去,连接电路,调试光强。这盏灯是他托人从物理研究所"借"来的实验室设备,经过改装后勉强能用,虽然和后世的准分子激光光源没法比,但对于当前阶段已经足够了。
"机械平台的XY方向移动精度必须控制在微米级别..."
这是最令他头疼的部分。在这个连数控机床都是稀罕物的年代,想要实现微米级精度的机械控制简直是痴人说梦。好在有"小世界"相助,林舟经过无数次失败尝试,最终设计出一套基于微分螺丝和杠杆原理的精密控制机构,虽然原始,但勉强够用。
时间在小世界中流逝,林舟的额头渗出细密的汗珠,但他眼神专注,手上动作丝毫不乱。终于,当最后一个部件被精确安装到位,一台外形粗糙但结构完整的简易光刻机呈现在眼前。
"理论上...这玩意应该能工作。"林舟擦了擦汗,声音里带着些许不确定,"当然,分辨率肯定比不上现代的光刻机,但刻个几百微米的线宽应该没问题。"
他深吸一口气,准备进行测试。先是接通电源,检查各部件运行状况;然后安装测试用的掩模版,调整光路;最后放入一块预先涂好光刻胶的玻璃基板...
"准备就绪,开始曝光测试。"
林舟按下启动按钮,紫外灯亮起,发出幽幽蓝光。机械平台精确移动,将光线通过掩模版照射到基板上。整个过程持续了约30秒,随后自动停止。
"显影、蚀刻..."
林舟小心翼翼地将曝光后的基板取出,放入显影液中。几分钟后,他用镊子夹出基板,仔细观察。
"成了!"他忍不住高声欢呼,"图形转印成功!"
虽然线条有些模糊,边缘也不那么整齐,但掩模版上的图案确实被成功转印到了基板上。这意味着,世界上第一台由"个人"制造的光刻机,在这个小世界中诞生了。
(本章未完,请翻页)
第290章 光刻机完工
『加入书签,方便阅读』